AbgelaufenAusschreibungLieferauftrag🇪🇺 EU-FörderungTED 90/2026

Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) - PR1091613-2480-P

Veröffentlichung (ABl.)

08.05.2026

Einreichungsfrist

19.05.2026

Vertragslaufzeit

12.0 Monate

Verfahrensart

Offenes Verfahren

Sitz des Auftraggebers

München (80686) — DE212

Beschreibung

Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3)

CPV-Codes

42990000

Lose (1)

LOT-0000Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) - PR1091613-2480-P

1 Stück - Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) Option 1 (LV Pos. 2.1): Please offer an extended warranty of further 12 months (in total 24 month) Option 2 (LV Pos. 3.2): The tool should handle wafers with the size of Option 3 (LV Pos. 3.6): The equipment provides a chuck for wafer size of 300mm Option 4 (LV Pos. 3.8): The machine can handle a tape mounted wafer with dicing frame for 300mm wafer according to IPMS specification

4299000012 Monate

Zuschlagskriterien

technische Ausführung

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