AbgelaufenAusschreibungLieferauftrag🇪🇺 EU-FörderungTED 90/2026
Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) - PR1091613-2480-P
Auftraggeber
Veröffentlichung (ABl.)
08.05.2026
Einreichungsfrist
19.05.2026
Vertragslaufzeit
12.0 Monate
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Sitz des Auftraggebers
München (80686) — DE212
Sektor
Beschreibung
Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3)
CPV-Codes
42990000
Lose (1)
LOT-0000Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) - PR1091613-2480-P
1 Stück - Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) Option 1 (LV Pos. 2.1): Please offer an extended warranty of further 12 months (in total 24 month) Option 2 (LV Pos. 3.2): The tool should handle wafers with the size of Option 3 (LV Pos. 3.6): The equipment provides a chuck for wafer size of 300mm Option 4 (LV Pos. 3.8): The machine can handle a tape mounted wafer with dicing frame for 300mm wafer according to IPMS specification
4299000012 Monate
Zuschlagskriterien
technische Ausführung