Vorinformation – Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für Halbleiterprozesse
Veröffentlichung (ABl.)
Geschätzter Auftragswert
Sitz des Auftraggebers
Sektor
Beschreibung
Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für die Halbleiterfertigung. Gegenstand ist die Lieferung einer Anlage zur Metallabscheidung auf Substraten bis 200 mm Durchmesser im Rahmen von mikro- und nanoelektronischen Prozessen. Die Beschaffung dient der Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im Bereich der Halbleiter- und Photoniktechnologie im Rahmen des Projekts APECS.
CPV-Codes
Lose (1)
Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems zur Metallabscheidung auf Halbleitersubstraten bis 200 mm. Die Anlage dient der Herstellung von metallischen Schichten für mikro- und nanoelektronische Anwendungen.